L'obiettivu di lega di titaniu di sputtering è u metale di titaniu sò cumposti di titaniu, cusì l'infurmazioni hè quasi a listessa, ma a diffarenza trà i dui si trova principalmente in u mira di lega di titaniu di sputtering hè fatta di titaniu per parechje manere, è u titaniu si trova in natura cum'è un Obiettivi di lega di titaniu pò esse largamente utilizati in parechje categurie occupational, Ora l'autore di Beijing Richmat hà riassuntu parechji mira di lega di titaniu cumuni in quantu à l'usu di a situazione per dà una introduzione dettagliata.
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一、Ti obiettivi per i circuiti integrati
I requisiti per sputtering target di lega di titaniu sò diffirenti trà circuiti micca integrati è circuiti integrati.In generale, i circuiti integrati anu esigenze più altu per i dati di revestimentu, cum'è una purezza più alta, una grana più chjuca è una precisione di scala più precisa. A purità di i miri di titaniu in i circuiti integrati hè più grande di 99,995%, chì hè più altu ch'è quellu utilizatu in micca integrati. circuiti, indettendu chì usi differente di esigenze di mira titaniu sò assai differente.
二、Ti target per display flat panel
Obiettivi in lega di titaniu utilizati in display di pannellu pianu includenu display di cristalli liquidi, display di plasma, display di elettroluminescenza è display di emissioni di campu. A film fina di display flat hè un metudu di furmazione sputtered, Al, Cu, Ti è Mo sò i principali obiettivi di sputtering di metalli per u pannellu pianu. displays.Purity di mira di alea di titaniu per i display flat panel hè di solitu più grande di 99,9%.
三、Ti targets per i materiali decorattivi
U materiale di destinazione in lega di titaniu d'alta purezza hà una eccellente resistenza à a corrosione di l'aria, l'usu à longu andà in l'aria ùn cambia micca u culore, per assicurà chì u culore originale di titaniu è u cuntattu umanu ùn hè micca allergicu è altre caratteristiche eccellenti.Dunque, u titaniu d'alta purezza pò ancu esse usatu cum'è materiali decorattivi, in l'ultimi anni, cum'è braccialetti, orologi è vetri è altri ornamenti cù purezza di titaniu hà righjuntu u livellu 5N.
四、Ti obiettivi per i sistemi di pompa di vacu ultra-altu
Cum'è un metale chimicamente attivu, u titaniu pò reagisce cù parechji elementi è cumposti à alta temperatura.U target di lega di titaniu d'alta purezza hà una forte capacità d'adsorzione per i gasi attivi (cum'è O2, N2, CO, CO2, vapore d'acqua sopra 650 ° C), è a film Ti evaporendu nantu à u muru di a pompa pò furmà una superficia cù un altu rendiment d'adsorzione. .Sta pruprietà face Ti largamente utilizatu cum'è getter in ultra-high vacuum gas extraction system.If usatu per migliurà a pompa, sputtering ion pump, etc., pò fà l'ultima pressione di u funziunamentu di sputtering ion pump as low as 10-9PA.
Tempu di Postu: Apr-25-2022