Cù u sviluppu di a tecnulugia industriale, a qualità di i miri necessarii per a produzzione industriale hè ancu più altu è più altu, perchè a qualità di i miri affetta direttamente u rendiment di i filmi di magnetron sputtering.Oghje, l'imprese in generale preferiscenu usà miri d'alta densità cù una struttura di cumpusizioni uniforme per u revestimentu di sputtering quandu compranu mira, in modu di riduce a cucitura multipla di mira è di migliurà a qualità di revestimenti sputtering. cuntrullà a qualità di u target.Avà lasciate editore di PechinoRichmatvi porta à capisce ciò chì fattori affettanu a qualità di u mira.
1、L'influenza di i paràmetri di u prucessu nantu à a qualità di u mira
I paràmetri di prucessu includenu principarmenti a pressione di pressa à freddo, a velocità di pressurizazione è a velocità di demolding è altri parametri.Quandu u target hè pressatu à friddu, a pressione affettarà direttamente a qualità di u biancu di destinazione;A rapidità di pressurizazione hà un grande impattu nantu à a stratificazione di u biancu di destinazione, è u statu iniziale quandu u polveru hè cumpletu uniformemente in u moldu negativu hè un statu lax, chì hà assai pori è gasi, è u scaricamentu di gasi piglia un periudu di tempu.
2、UInfluenza di u muffa nantu à a qualità di destinazione
U moldu hà ancu una certa influenza nantu à a furmazione di u blank target.I principali fatturi chì influenze includenu a finitura di a superficia di u latu internu di u muffa, a distanza trà u punch è a cavità di u moldu, etc., se u distaccu hè troppu grande, a putenza di u polveru è a fuga di polvera saranu, chì farà a densità marginale di u vuotu bassu, è i prublemi di qualità cum'è bordu caduta durante demoulding.
3、L'effettu di u cuntenutu di umidità materiale nantu à a qualità di u mira
L'umidità cuntenuta in u polu di u materiale di destinazione hè equivalente à l'effettu di u lubricante, è a so prisenza pò riduce l'attrito trà e particeddi, chì conduce à a trasmissione efficace di a pressione di pressa à friddu, è hè ancu favurevule à slippage liscia è riarrangiamentu trà e particelle di polvere.Tuttavia, quandu u cuntenutu di l'acqua hè troppu chjucu o troppu, affettarà a qualità di u mira.
Quandu u cuntenutu di l'acqua in u polu di ITO hè menu di 2%, a probabilità di prublemi di qualità, cum'è a perdita di u bordu è a delaminazione di u materiale di destinazione, serà assai aumentata quandu l'altri cundizioni, cum'è a pressione di pressa à friddu è u cuntenutu di ligatu sò listessi. Quandu l'acqua. cuntenutu in polvera ITO hè più di 10%, sottu à a stessa pressione di pressa à u friddu, cuntenutu di ligatu è altre cundizioni, ancu s'è i particeddi di polvera scivolanu è riorganizzanu più facilmente, l'acqua hè scaricata da l'internu di u moldu, chì pruvucarà u prublema di caduta. bordi intornu à u biancu di u materiale di destinazione.I risultati mostranu chì quandu u cuntenutu di l'acqua di u polu hè trà 3% è 6%, a qualità di u biancu hè cuntrullata in modu efficace.
4、Effettu di u cuntenutu di u legante nantu à a qualità di destinazione
A quantità di legante incorporata hà un grande impattu nantu à a qualità di u materiale di destinazione.Quandu a quantità di incorporazione hè menu di 1%, u spaziu di destinazione avarà un prublema di qualità assai seriu, à questu tempu, l'effettu di u legante ùn hè micca mostratu, è hà pocu effettu nantu à a migliurà a forza di u biancu di destinazione. l'aumentu di l'incorporazione di u legante à 2% è 3%, a forza di u materiale di destinazione hè rinfurzata, è u prublema di qualità di u materiale di destinazione hè assai ridutta.In ogni casu, quandu u legante hè incorporatu à u 4%, ancu s'è u prublema di qualità di u biancu pressatu à friddu di u materiale di destinazione sparisce, u materiale di destinazione in ocasioni delaminates durante u prucessu di demolding sussegwenti.
Tempu di Postu: Apr-22-2022