Cunniscenza di mantenimentu di u scopu di sputtering

Parechje amichi nantu à u mantenimentu di u target ci sò più o menu dumande, recentemente ci sò ancu assai clienti chì cunsultate nantu à u mantenimentu di i prublemi di destinazione, lasciate l'editore di RSM per noi di sparte nantu à a cunniscenza di mantenimentu di u target sputtering.

　　Cumu deve esse manteni i miri di sputter?

　　1 、 Mantenimentu di destinazione

Per evitari u cortu circuitu è ​​l'arcu causatu da cavità impuru in u prucessu di sputtering, hè necessariu di caccià periodicamente i sputters accumulati in u mezu è i dui lati di a pista di sputtering, chì aiuta ancu l'utilizatori à sputter continuamente à alta densità di putenza.

　　2 、 Almacenamiento di destinazione

Hè ricumandemu chì l'utilizatori guardanu l'obiettivu (sia in metallo o ceramica) in imballaggi in vacuum, in particulare l'obbiettivu adattatu deve esse almacenatu in vacuum per impedisce l'ossidazione di a strata di adattazione da affettà a qualità di adattazione.In quantu à l'imballaggio di i miri di metalli, suggerimu chì deve esse imballati in sacchetti di plastica puliti almenu.

　　3 、 Pulizia di destinazione

U primu passu hè di pulizziari cù un pannu suave senza pelucchi imbevutu in acetone;

U sicondu passu hè simile à u primu passu, a pulizia cù l'alcohol;

Passu 3: pulisce cù acqua deionizzata.Dopu a pulitura cù l'acqua deionizzata, a mira hè posta in u fornu è secca à 100 ℃ per 30 minuti.Hè cunsigliatu d'utilizà "pannu senza filu" per pulizziari l'ossidu è l'ughjetti di ceramica.

U quartu passu hè di lavà u mira cù l'argon cù alta pressione è umidità bassa per sguassà qualsiasi particelle impure chì ponu causà arcu in u sistema di sputtering.

　　4 、 Cortu circuitu è ​​cuntrollu di strettezza

Dopu chì u mira hè stallatu, tuttu u catodu deve esse verificatu per cortu circuitu è ​​strettezza.Hè ricumandemu di ghjudicà s'ellu ci hè un cortu circuitu in u catodu utilizendu un metru di resistenza è un megger.Dopu avè cunfirmatu chì ùn ci hè micca un cortu circuitu in u catodu, l'ispezione di perdite d'acqua pò esse realizatu, è l'acqua pò esse introduttu in u catodu per determinà s'ellu ci hè una fuga d'acqua.

　　5 、 Imballaggio è trasportu

Tutti i miri sò imballati in sacchetti di plastica sigillati à vacuum cù agenti à prova di umidità.U pacchettu esterno hè generalmente una scatula di legnu cù una strata anti-collisione intornu per prutege u mira è u backplane da danni durante u trasportu è u almacenamentu.