Parechji utilizatori ùn anu micca cunsideratu l'acquistu di mira da un puntu di vista prufessiunale, allora chì deve esse attentu à l'acquistu di mira?Dumandemu à u Xiaobian di Pechino Ruichi per indicà e cose chì necessitanu attenzione quandu si compra i miri.
Prima, per u mira, a purezza hè unu di i so principali indicatori funziunali, è a purità di u mira hà un grande impattu nantu à a funzione di u filmu di produttu più tardi.Ogni pruduttu hà ancu esigenze diverse per a purità di u mira.
Siconda, u cuntenutu impurità di elementi individuali in u mira.Dopu una seria di trasfurmazioni di destinazione, l'impurità in u solidu di destinazione è l'ossigenu è u vapore d'acqua in i pori sò i principali fonti di contaminazione di i filmi dipositati.A causa di i diversi usi di i miri, i requisiti per i diversi cuntenuti di impurità di i miri cù usi differenti sò ancu diffirenti.Per esempiu, l'alluminiu puri è l'obbiettivi di lega d'aluminiu utilizati in l'industria di i semiconduttori anu avà esigenze speciali per u cuntenutu di metalli alkali è elementi radiuattivi.
A densità hè ancu unu di l'indici di prestazione impurtanti di u mira In u prucessu tecnicu di u mira, per riduce i pori in u solidu di destinazione è migliurà a funzione di a film sputtered, u mira hè generalmente necessariu per avè una alta densità.A densità caratteristica principale di u mira hà una grande influenza nantu à a rata di sputtering, è affetta e funzioni elettriche è ottiche di a film.A più alta a densità di destinazione, u megliu a funzione di a film.
Infine, a dimensione di u granu è a distribuzione di granu.Di solitu, u materiale di destinazione hè policristalinu, è a dimensione di granu pò varià da micron à millimetru.Per u listessu scopu, a rata di sputtering di u mira di granu fini hè più veloce di quellu di u mira di granu grossu;U gruixu di i filmi dipositati da u sputtering di destinazione cù una piccula differenza di grana (dispersione uniforme) hè più uniforme.
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