Chì sò i Requisiti di Prestazione di u Target

U scopu hà un vastu mercatu, una zona d'applicazione è un grande sviluppu in u futuru.Per aiutà à capisce megliu e funzioni di destinazione, quì sottu l'ingegnere RSM introduverà brevemente i principali esigenze funziunali di u mira.

Purità: a purità hè unu di i principali indicatori funziunali di u mira, perchè a purità di u mira hà un grande impattu nantu à a funzione di a film.Tuttavia, in l'applicazione pratica, i requisiti di purità di u mira sò ancu diffirenti.Per esempiu, cù u rapidu sviluppu di l'industria di a microelettronica, a dimensione di l'ostia di siliciu hè allargata da 6 "à 8" à 12 ", è a larghezza di cablaggio hè ridutta da 0.5um à 0.25um, 0.18um o ancu 0.13um.In precedenza, 99.995% di a purità di destinazione pò risponde à i requisiti di u prucessu di 0.35umic, mentre chì a preparazione di e linee 0.18um richiede 99.999% o ancu 99.9999% di a purità di destinazione.

Cuntenutu di impurità: impurità in i solidi di destinazione è l'ossigenu è u vapore d'acqua in i pori sò i principali fonti di contaminazione di i filmi dipositati.Targets per diversi scopi anu esigenze diverse per diversi cuntenuti di impurità.Per esempiu, l'alluminiu puri è l'obiettivi di lega d'aluminiu utilizati in l'industria di i semiconduttori anu esigenze speciali per u cuntenutu di metalli alkali è u cuntenutu di elementi radioattivi.

Densità: per riduce i pori in u solidu di destinazione è migliurà a funzione di sputtering film, l'obiettivu hè generalmente necessariu per avè una densità alta.A densità di u mira ùn solu affetta a rata di sputtering, ma ancu affetta e funzioni elettriche è ottiche di a film.A più alta a densità di destinazione, u megliu a funzione di a film.Inoltre, a densità è a forza di u mira sò migliurati per chì u mira pò accettà megliu u stress termicu in u prucessu di sputtering.A densità hè ancu unu di l'indicatori funziunali chjave di u mira.